精簡薄膜厚度測量特性分析系統(tǒng)
型 號FR-ES
所屬分類實(shí)驗(yàn)室儀器
報(bào)價(jià)
更新時(shí)間2024-09-23
產(chǎn)品概述
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,綜合 |
FR-ES: 精簡薄膜厚度測量特性分析系統(tǒng)
FR-ES 機(jī)型設(shè)計(jì)在以較小的占地面積提供涂層表征性能。它廣泛應(yīng)用于各種不同的測量應(yīng)用：薄膜厚度、折射率、顏色、透射率、反射率等等。有下列波長范圍 FR-ES 配置可用:
VIS/NIR (380-1020nm), UV/NIR (200-850nm), UV/NIR-EXT (200-1000nm), UV/NIR-HR (190-1100nm) NIR-N1 (850-1050nm),
NIR (900-1700nm).
D VIS/NIR (380-1700nm)
依照不同樣品形狀尺寸還有各種各樣的配件，例如
§ 濾光片可阻擋某些光譜范圍內(nèi)的光
§ FR-Mic 提供微米級別區(qū)域進(jìn)行測量
§ 手動(dòng)載物臺, 100x100mm或 200x200mm
§ 薄膜/比色皿支架用于吸光度/透射率和化學(xué)濃度測量的薄膜/比色皿支架
§ 積分球用于漫反射和全反射反射率測量
FR-ES 規(guī)格(標(biāo)準(zhǔn)配置) *
精簡薄膜厚度測量特性分析系統(tǒng)配件
聚焦模塊 | 安裝在反射探頭上的光學(xué)模塊，用于直徑 <100μm 的光斑尺寸 |
透射率模塊 | 用于透射率/吸光度測量的光學(xué)模塊 |
膜厚/比色皿套件 | 標(biāo)準(zhǔn)比色皿中的薄膜或液體進(jìn)行透射測量 |
接觸探頭 | 曲面樣品的反射率和厚度測量 |
顯微鏡 | 具有高橫向分辨率的基于顯微鏡的反射率和厚度測量 |
手動(dòng)X-Y平臺 | 手動(dòng) X-Y 平臺，用于測量 25x25mm /100x100mm / 200x200mm 區(qū)域 |
* 規(guī)格如有變更，恕不另行通知； ** 厚度范圍取決于光譜范圍，是指硅基板上折射率約為 1.5 的單層薄膜 ** 與校準(zhǔn)的光譜橢偏儀和 XRD 進(jìn)行比較的測量結(jié)果，15 天內(nèi)平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差的平均值。樣品：Si 上 1μm SiO2，100 次厚度測量的標(biāo)準(zhǔn)偏差。樣品：Si 上 1μm SiO2，2*15 天內(nèi)日平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差。
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